Tris(二乙氨基)(叔丁基亚氨基)铌(V)(TBTDEN):ALD前驱体指南
了解TBTDEN——一种用于铌基薄膜ALD与CVD沉积的挥发性铌(V)氨基-亚氨基前驱体,涵盖其性质、操作方法与应用。
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