用于薄膜研究的CVD与ALD前驱体

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仲丁醇铝
CAS: 2269-22-9 EC号: 218-871-2 化合物 CID: 61289 分子式: C₁₂H₂₇AlO₃ 分子量: 246.32

≥95%

有现货货号: A106802

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IUPAC名称

aluminum;butan-2-olate

SMILES

CCC(C)[O-].CCC(C)[O-].CCC(C)[O-].[Al+3]

InChIKey

WOZZOSDBXABUFO-UHFFFAOYSA-N

InChI

1S/3C4H9O.Al/c3*1-3-4(2)5;/h3*4H,3H2,1-2H3;/q3*-1;+3
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异丙醇铝 (AIP)
CAS: 555-31-7 EC号: 209-090-8 分子式: C₉H₂₁AlO₃ 分子量: 204.24

≥98%

有现货货号: A104695

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IUPAC名称

aluminum;propan-2-olate

SMILES

CC(C)[O-].CC(C)[O-].CC(C)[O-].[Al+3]

InChIKey

SMZOGRDCAXLAAR-UHFFFAOYSA-N

InChI

1S/3C3H7O.Al/c3*1-3(2)4;/h3*3H,1-2H3;/q3*-1;+3
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五氯化铌
CAS: 10026-12-7 EC号: 233-059-8 分子式: NbCl₅ 分子量: 270.17

≥99.9% metals basis

有现货货号: N106720

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IUPAC名称

pentachloroniobium

SMILES

Cl[Nb](Cl)(Cl)(Cl)Cl

InChIKey

YHBDIEWMOMLKOO-UHFFFAOYSA-I

InChI

1S/5ClH.Nb/h5*1H;/q;;;;;+5/p-5
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乙酰丙酮铂(II)
CAS: 15170-57-7 EC号: 239-223-5 化合物 CID: 10960186 分子式: C₁₀H₁₄O₄Pt 分子量: 393.29

PrimorTrace™ ? ≥99.99% metals basis

有现货货号: P119026

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IUPAC名称

(Z)-4-hydroxypent-3-en-2-one;platinum

SMILES

CC(=CC(=O)C)O.CC(=CC(=O)C)O.[Pt]

InChIKey

VEJOYRPGKZZTJW-FDGPNNRMSA-N

InChI

1S/2C5H8O2.Pt/c2*1-4(6)3-5(2)7;/h2*3,6H,1-2H3;/b2*4-3-;
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三乙酰丙酮铑(III)
CAS: 14284-92-5 EC号: 238-192-5 化合物 CID: 71306774 分子式: [CH₃COCH=C(O-)CH₃]₃Rh 分子量: 400.23

PrimorTrace™ ? ≥99.99% metals basis

有现货货号: R118540

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IUPAC名称

(E)-4-hydroxypent-3-en-2-one;rhodium

SMILES

CC(=CC(=O)C)O.CC(=CC(=O)C)O.CC(=CC(=O)C)O.[Rh]

InChIKey

MBVAQOHBPXKYMF-MUCWUPSWSA-N

InChI

1S/3C5H8O2.Rh/c3*1-4(6)3-5(2)7;/h3*3,6H,1-2H3;/b3*4-3+;
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磷酸三乙酯(TEP)
CAS: 78-40-0 EC号: 201-114-5 分子式: C₆H₁₅O₄P 分子量: 182.15

Standard for GC ? ≥99.7%(GC)

有现货货号: T103501

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IUPAC名称

triethyl phosphate

SMILES

CCOP(=O)(OCC)OCC

InChIKey

DQWPFSLDHJDLRL-UHFFFAOYSA-N

InChI

1S/C6H15O4P/c1-4-8-11(7,9-5-2)10-6-3/h4-6H2,1-3H3
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磷酸三乙酯(TEP)
CAS: 78-40-0 EC号: 201-114-5 分子式: C₆H₁₅O₄P 分子量: 182.15

≥99.5%

有现货货号: T103503

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IUPAC名称

triethyl phosphate

SMILES

CCOP(=O)(OCC)OCC

InChIKey

DQWPFSLDHJDLRL-UHFFFAOYSA-N

InChI

1S/C6H15O4P/c1-4-8-11(7,9-5-2)10-6-3/h4-6H2,1-3H3
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三甲基铝(TMA)
CAS: 75-24-1 EC号: 200-853-0 分子式: C₃H₉Al 分子量: 72.09

2.0 M in n-hexane

有现货货号: T107292

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IUPAC名称

trimethylalumane

SMILES

C[Al](C)C

InChIKey

JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N

InChI

1S/3CH3.Al/h3*1H3;
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三乙基铝
CAS: 97-93-8 EC号: 202-619-3 分子式: C₆H₁₅Al 分子量: 114.16

1.0 M in n-hexane

有现货货号: T107261

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IUPAC名称

triethylalumane

SMILES

CC[Al](CC)CC

InChIKey

VOITXYVAKOUIBA-UHFFFAOYSA-N

InChI

1S/3C2H5.Al/c3*1-2;/h3*1H2,2H3;
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三甲基铝（TMA）
CAS: 75-24-1 EC号: 200-853-0 分子式: C₃H₉Al 分子量: 72.09

2.0 M in toluene

有现货货号: T107291

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IUPAC名称

trimethylalumane

SMILES

C[Al](C)C

InChIKey

JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N

InChI

1S/3CH3.Al/h3*1H3;
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硅酸四乙酯 (TEOS)
CAS: 78-10-4 EC号: 201-083-8 化合物 CID: 6517 分子式: C₈H₂₀O₄Si 分子量: 208.33

PrimorTrace™ ? ≥99.99% metals basis

有现货货号: T110595

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IUPAC名称

tetraethyl silicate

SMILES

CCO[Si](OCC)(OCC)OCC

InChIKey

BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N

InChI

1S/C8H20O4Si/c1-5-9-13(10-6-2,11-7-3)12-8-4/h5-8H2,1-4H3
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硅酸四乙酯 (TEOS)
CAS: 78-10-4 EC号: 201-083-8 化合物 CID: 6517 分子式: C₈H₂₀O₄Si 分子量: 208.33

≥99%(GC)

有现货货号: T110596

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IUPAC名称

tetraethyl silicate

SMILES

CCO[Si](OCC)(OCC)OCC

InChIKey

BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N

InChI

1S/C8H20O4Si/c1-5-9-13(10-6-2,11-7-3)12-8-4/h5-8H2,1-4H3