CVD和ALD前驱体

用于薄膜沉积和半导体研究的CVD及ALD前驱体。浏览金属有机和无机前驱体,这些产品附有关键标识符和操作指南,以支持沉积工艺开发。

阿拉丁试剂(上海阿拉丁生化科技股份有限公司,上交所科创板 688179)提供 34万+ 种化学与生化试剂,仅供专业研发使用。

292 种产品

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  1. 磷酸三甲酯(TMP)
    CAS: 512-56-1 EC号: 208-144-8 化合物 CID: 10541 分子式: C3H9O4P 分子量: 140.07
    电子级 ? 电子级 —— 金属和颗粒杂质极低,供微电子使用。适用于不耐受污染的半导体和电子工艺。 PrimorTrace™ Ultra ? PrimorTrace™ Ultra —— PrimorTrace 痕量金属系列的最高纯度等级。适用于最严苛的超痕量金属测定。 ≥99.99999% metals basis
    有现货 货号: T278892
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    技术标识符
    IUPAC名称
    trimethyl phosphate
    SMILES
    COP(=O)(OC)OC
    InChIKey
    WVLBCYQITXONBZ-UHFFFAOYSA-N
    InChI
    1S/C3H9O4P/c1-5-8(4,6-2)7-3/h1-3H3
  2. 三(乙基甲酰胺基)(叔丁基酰亚氨)钽(V)
    CAS: 511292-99-2 化合物 CID: 4643325 分子式: C13H33N4Ta 分子量: 426.38
    PrimorTrace™ ? PrimorTrace™ —— 阿拉丁的痕量金属分析系列,金属背景极低。适用于污染须极小的 ICP/AAS 痕量金属工作。 ≥99.99% metals basis
    有现货 货号: T283059
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    技术标识符
    IUPAC名称
    tert-butyliminotantalum;ethyl(methyl)azanide
    SMILES
    CC[N-]C.CC[N-]C.CC[N-]C.CC(C)(C)N=[Ta]
    InChIKey
    WUOSVSDQERJZBI-UHFFFAOYSA-N
    InChI
    1S/C4H9N.3C3H8N.Ta/c1-4(2,3)5;3*1-3-4-2;/h1-3H3;3*3H2,1-2H3;/q;3*-1;
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