用于薄膜沉积和半导体研究的CVD及ALD前驱体。浏览金属有机和无机前驱体,这些产品附有关键标识符和操作指南,以支持沉积工艺开发。
CVD和ALD前驱体
产品列表
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乙酰丙酮酸镝(III)水合物有现货 货号: D302912查看产品价格与包装
技术标识符
- IUPAC名称
- dysprosium;4-hydroxypent-3-en-2-one
- SMILES
- CC(=CC(=O)C)O.CC(=CC(=O)C)O.CC(=CC(=O)C)O.[Dy]
- InChIKey
- BYBFJHANLYDGFD-UHFFFAOYSA-N
- InChI
- 1S/3C5H8O2.Dy/c3*1-4(6)3-5(2)7;/h3*3,6H,1-2H3;
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磷酸三甲酯(TMP)电子级 ? 电子级 —— 金属和颗粒杂质极低,供微电子使用。适用于不耐受污染的半导体和电子工艺。 PrimorTrace™ Ultra ? PrimorTrace™ Ultra —— PrimorTrace 痕量金属系列的最高纯度等级。适用于最严苛的超痕量金属测定。 ≥99.99999% metals basis有现货 货号: T278892查看产品价格与包装
技术标识符
- IUPAC名称
- trimethyl phosphate
- SMILES
- COP(=O)(OC)OC
- InChIKey
- WVLBCYQITXONBZ-UHFFFAOYSA-N
- InChI
- 1S/C3H9O4P/c1-5-8(4,6-2)7-3/h1-3H3
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无水氯化铝PrimorTrace™ ? PrimorTrace™ —— 阿拉丁的痕量金属分析系列,金属背景极低。适用于污染须极小的 ICP/AAS 痕量金属工作。 电子级 ? 电子级 —— 金属和颗粒杂质极低,供微电子使用。适用于不耐受污染的半导体和电子工艺。 ≥99.999% metals basis期货 货号: A278954查看产品价格与包装
技术标识符
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无水氯化铝PrimorTrace™ ? PrimorTrace™ —— 阿拉丁的痕量金属分析系列,金属背景极低。适用于污染须极小的 ICP/AAS 痕量金属工作。 电子级 ? 电子级 —— 金属和颗粒杂质极低,供微电子使用。适用于不耐受污染的半导体和电子工艺。 ≥99.99% metals basis期货 货号: A283582查看产品价格与包装
技术标识符
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(甲基环戊二烯基)(1,5-环辛二烯)铱(I)期货 货号: M283133查看产品价格与包装
技术标识符
- SMILES
- CC1=CC=C[CH]1.C1CC=CCCC=C1.[Ir]
- InChIKey
- UEOVGDMEQRSFHK-GCOBPYNFSA-N
- InChI
- 1S/C8H12.C6H7.Ir/c1-2-4-6-8-7-5-3-1;1-6-4-2-3-5-6;/h1-2,7-8H,3-6H2;2-5H,1H3;/b2-1-,8-7-;;
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(叔丁基酰亚胺)三(二乙氨基)铌(V)CAS: 210363-27-2 分子式: C16H39N4Nb 分子量: 380.41期货 货号: T282622查看产品价格与包装
技术标识符
- IUPAC名称
- tert-butyliminoniobium;diethylazanide
- SMILES
- CC[N-]CC.CC[N-]CC.CC[N-]CC.CC(C)(C)N=[Nb]
- InChI
- 1S/C4H9N.3C4H10N.Nb/c1-4(2,3)5;3*1-3-5-4-2;/h1-3H3;3*3-4H2,1-2H3;/q;3*-1;
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三(乙基甲酰胺基)(叔丁基酰亚氨)钽(V)PrimorTrace™ ? PrimorTrace™ —— 阿拉丁的痕量金属分析系列,金属背景极低。适用于污染须极小的 ICP/AAS 痕量金属工作。 ≥99.99% metals basis有现货 货号: T283059查看产品价格与包装
技术标识符
- IUPAC名称
- tert-butyliminotantalum;ethyl(methyl)azanide
- SMILES
- CC[N-]C.CC[N-]C.CC[N-]C.CC(C)(C)N=[Ta]
- InChIKey
- WUOSVSDQERJZBI-UHFFFAOYSA-N
- InChI
- 1S/C4H9N.3C3H8N.Ta/c1-4(2,3)5;3*1-3-4-2;/h1-3H3;3*3H2,1-2H3;/q;3*-1;
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