CVD和ALD前驱体

用于薄膜沉积和半导体研究的CVD及ALD前驱体。浏览金属有机和无机前驱体,这些产品附有关键标识符和操作指南,以支持沉积工艺开发。

阿拉丁试剂(上海阿拉丁生化科技股份有限公司,上交所科创板 688179)提供 34万+ 种化学与生化试剂,仅供专业研发使用。

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  1. 二甲基异丙氧基铝
    CAS: 6063-89-4 EC号: 633-141-7 化合物 CID: 5347394 分子式: C₅H₁₃AlO 分子量: 116.14
    期货 货号: D281774
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    IUPAC名称
    (5E)-1-(4-bromo-3-methylphenyl)-5-[(5-chloro-2-hydroxy-3-methoxyphenyl)methylidene]-1,3-diazinane-2,4,6-trione
    SMILES
    CC1=C(C=CC(=C1)N2C(=O)C(=CC3=C(C(=CC(=C3)Cl)OC)O)C(=O)NC2=O)Br
    InChIKey
    MNMGIIHDFQDVBS-NTUHNPAUSA-N
    InChI
    1S/C19H14BrClN2O5/c1-9-5-12(3-4-14(9)20)23-18(26)13(17(25)22-19(23)27)7-10-6-11(21)8-15(28-2)16(10)24/h3-8,24H,1-2H3,(H,22,25,27)/b13-7+
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