页面 8 | 用于薄膜研究的CVD与ALD前驱体

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四（二甲氨基）钒（IV）
CAS: 19824-56-7 化合物 CID: 6097003 分子式: C₈H₂₄N₄V 分子量: 227.25

≥95%

期货货号: T282379

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IUPAC名称

dimethylazanide;vanadium(4+)

SMILES

C[N-]C.C[N-]C.C[N-]C.C[N-]C.[V+4]

InChIKey

PALZAXLZULBBHA-UHFFFAOYSA-N

InChI

1S/4C2H6N.V/c4*1-3-2;/h4*1-2H3;/q4*-1;+4
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四（二甲基氨基）锡 (IV)
CAS: 1066-77-9 EC号: 625-403-4 化合物 CID: 16684220 分子式: C₈H₂₄N₄Sn 分子量: 295.01

≥99.9% metals basis

有现货货号: T282967

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IUPAC名称

N-methyl-N-[tris(dimethylamino)stannyl]methanamine

SMILES

CN(C)[Sn](N(C)C)(N(C)C)N(C)C

InChIKey

WHXTVQNIFGXMSB-UHFFFAOYSA-N

InChI

1S/4C2H6N.Sn/c4*1-3-2;/h4*1-2H3;/q4*-1;+4
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四（二乙氨基）铪
CAS: 19824-55-6 化合物 CID: 140612 分子式: C₁₆H₄₀HfN₄ 分子量: 467.01

≥99.99% metals basis

有现货货号: T283055

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IUPAC名称

diethylazanide;hafnium(4+)

SMILES

CCN(CC)[Hf](N(CC)CC)(N(CC)CC)N(CC)CC

InChIKey

VBCSQFQVDXIOJL-UHFFFAOYSA-N

InChI

1S/4C4H10N.Hf/c4*1-3-5-4-2;/h4*3-4H2,1-2H3;/q4*-1;+4
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四（二乙氨基）钛（IV）
CAS: 4419-47-0 分子式: C₁₆H₄₀N₄Ti 分子量: 336.4

≥99%

期货货号: T282368

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IUPAC名称

diethylazanide;titanium(4+)

SMILES

CC[N-]CC.CC[N-]CC.CC[N-]CC.CC[N-]CC.[Ti+4]

InChI

1S/4C4H10N.Ti/c4*1-3-5-4-2;/h4*3-4H2,1-2H3;/q4*-1;+4
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四（二乙氨基）钒（IV）
CAS: 219852-96-7 化合物 CID: 551437 分子式: C₁₆H₄₀N₄V 分子量: 339.46

≥95%

期货货号: T282380

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IUPAC名称

diethylazanide;vanadium(4+)

SMILES

CC[N-]CC.CC[N-]CC.CC[N-]CC.CC[N-]CC.[V+4]

InChI

1S/4C4H10N.V/c4*1-3-5-4-2;/h4*3-4H2,1-2H3;/q4*-1;+4
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四（乙基甲基氨基）钛
CAS: 175923-03-2 化合物 CID: 4439979 分子式: C₁₂H₃₂N₄Ti 分子量: 280.28

≥99%(99.99%-Ti)

有现货货号: T282369

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IUPAC名称

ethyl(methyl)azanide;titanium(4+)

SMILES

CC[N-]C.CC[N-]C.CC[N-]C.CC[N-]C.[Ti+4]

InChIKey

LNKYFCABELSPAN-UHFFFAOYSA-N

InChI

1S/4C3H8N.Ti/c4*1-3-4-2;/h4*3H2,1-2H3;/q4*-1;+4
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四（乙基甲基氨基）钒（IV）
CAS: 791114-66-4 化合物 CID: 87645524 分子式: C₁₂H₃₂N₄V 分子量: 283.35

≥98%

有现货货号: T282378

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IUPAC名称

ethyl(methyl)azanide;vanadium(4+)

SMILES

CC[N-]C.CC[N-]C.CC[N-]C.CC[N-]C.[V+4]

InChIKey

DIPHIZQUERBDLB-UHFFFAOYSA-N

InChI

1S/4C3H8N.V/c4*1-3-4-2;/h4*3H2,1-2H3;/q4*-1;+4
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四（甲基（乙基）氨基）硅烷
CAS: 477284-75-6 EC号: 684-494-9 化合物 CID: 4643324 分子式: C₁₂H₃₂N₄Si 分子量: 260.49

≥98%

有现货货号: T281795

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IUPAC名称

N-methyl-N-tris[ethyl(methyl)amino]silylethanamine

SMILES

CCN(C)[Si](N(C)CC)(N(C)CC)N(C)CC

InChIKey

MJBZMPMVOIEPQI-UHFFFAOYSA-N

InChI

1S/C12H32N4Si/c1-9-13(5)17(14(6)10-2,15(7)11-3)16(8)12-4/h9-12H2,1-8H3
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四(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚烷二酮)铪(IV)
CAS: 63370-90-1 EC号: 684-710-1 化合物 CID: 102601402 分子式: C₄₄H₇₆HfO₈ 分子量: 911.56

≥99%

有现货货号: T283052

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四[1-（甲氧基）-2-甲基-2-丙醇基]铈，[Ce（mmp）4]
CAS: 1262520-82-0 化合物 CID: 154705630 分子式: C₂₀H₄₄CeO₈ 分子量: 552.68

≥98%

期货货号: T283001

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IUPAC名称

cerium(4+);1-methoxy-2-methylpropan-2-olate

SMILES

CC(C)(COC)[O-].CC(C)(COC)[O-].CC(C)(COC)[O-].CC(C)(COC)[O-].[Ce+4]

InChIKey

GJUYZTSPMLBGEX-UHFFFAOYSA-N

InChI

1S/4C5H11O2.Ce/c4*1-5(2,6)4-7-3;/h4*4H2,1-3H3;/q4*-1;+4
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四(二乙基胺基)钛(IV)
CAS: 4419-47-0 分子式: C₁₆H₄₀N₄Ti 分子量: 336.4

≥99% 22-1050, contained in 50 ml Swagelok® cylinder(96-1070) for CVD/ALD

期货货号: T283556

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IUPAC名称

diethylazanide;titanium(4+)

SMILES

CC[N-]CC.CC[N-]CC.CC[N-]CC.CC[N-]CC.[Ti+4]

InChIKey

VJDVOZLYDLHLSM-UHFFFAOYSA-N

InChI

1S/4C4H10N.Ti/c4*1-3-5-4-2;/h4*3-4H2,1-2H3;/q4*-1;+4
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四(乙基甲基胺基)锆(IV)(TEMAZ)
CAS: 175923-04-3 EC号: 623-196-5 分子式: C₁₂H₃₂N₄Zr 分子量: 323.63

≥99%

有现货货号: T283555

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IUPAC名称

ethyl(methyl)azanide;zirconium(4+)

SMILES

CC[N-]C.CC[N-]C.CC[N-]C.CC[N-]C.[Zr+4]

InChIKey

SRLSISLWUNZOOB-UHFFFAOYSA-N

InChI

1S/4C3H8N.Zr/c4*1-3-4-2;/h4*3H2,1-2H3;/q4*-1;+4