计算溶液所需的质量、体积或浓度。
半导体级 ,适用于对基线干扰要求严格的色谱和分析工作流程。
室温。常规运输 。请查阅批次 COA 获取详细规格。
SDS、COA、产品数据表及规格说明书均可下载。可通过批号查询获取批次 COA。
在色谱分析、有机合成和交叉偶联反应领域已被 0 篇同行评审文献引用。
特点和优势:
· 使用含有电镀助剂的单一电镀液。
· 具有大工艺窗口的稳定添加剂。
· 高纯度电解液和长的保质期。
· 高浊点(>80°C)和低起泡性。
· 低表面张力电镀浴(∼44达因/cm @ 25 °C)。
· 高速电镀(最高5 μm/min)。
· 均匀平坦的凸块、焊盘、图案和重新分布层。
· 小瓶和沟槽的无空隙填充。
质量
储存特性:
· 8.9 g/cm3的密度。
· 1.7–1.8 μΩ cm的电阻率。
· 压力<50 MPa。
· 膜内纯度高(对于N、S、C、O、Cl为<10 ppm)。
· 低表面粗糙度,RMS <10 nm @ 1 μm厚的Cu。
· 沟槽平面化(在具有0.8 μm厚的Cu的1 μm宽 x 0.5 μm深沟槽内无凹口)。
· 具有小(220)和(200)的强(111)质地。
· 反射率>75%。
· 19-32%的延伸率。
High speed bright copper electroplating solution is an electrolytic acid copper process engineered for plating copper bumps, pads, patterns and redistribution layers as well as filling vials and trenches on wide varieties of substrates including semiconductors, glass, polymers et al. This copper electroplating solution is made up of cupric sulphate and sulphuric acid with small additions of hydrochloric acid and organic additives. The organic additives have a wide concentration process window eliminating the need for separate additive solutions and replenishment for about 120 Amp-hours of electroplating.
Features and Benefits
· The use of single electroplating solution containing plating additives.
· Stable additives with large process window.
· High purity electrolyte and long shelf life.
· High cloud point (>80 °C) and low foaming.
· Low surface tension plating bath (∼44 dyne/cm @ 25 °C).
· High speed plating (Up to 5 μm/min).
· Uniform and flat bumps, pads, patterns and redistributions layers.
· Void free filling of vials and trenches.
Quality
Deposits characteristics:
· Density of 8.9 g/cm3.
· Electrical resistivity of 1.7–1.8 μΩ cm.
· Stress <50 MPa.
· High in-film purity (<10 ppm for N, S, C, O, Cl).
· Low surface roughness, RMS <10 nm @ 1 μm thick Cu.
· Planarization of trenches (no recess in 1 μm wide x 0.5 μm deep trenches with 0.8 μm thick Cu).
· Strong (111) texture with small (220) and (200).
· Reflectivity >75%.
· Elongation of 19–32%.
| pH | <2.5 |
|---|
H290: 可能腐蚀金属
H302: 吞食有害
H315: 引起皮肤刺激
H319: 引起严重眼睛刺激
H410: 对水生生物有剧毒并具有长期持续影响
P305+P351+P338: 如进入眼睛:用水小心冲洗几分钟。如戴隐形眼镜并可方便地取出,取出隐形眼镜。继续冲洗。
P301+P312+P330: 如误吞咽:如感觉不适,呼叫急救中心/医生。漱口