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High-Performance Thin-Film Transistors and Inverters Based on ALD-Derived Ultrathin Al2O3-Passivated CeO2 Bilayer Gate Dielectrics

Journal 2022 · IF 3.221 · 69(3): 1065-1068 · 发表于 2022 年 1 月 17 日
作者: Leini Wang,Gang He,Wenhao Wang,Xiaofen Xu,Bo He,Xiaoyu Wu,Yongchun Zhang
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摘要

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