G2628485计算溶液所需的质量、体积或浓度。
概述
三(叔丁氧基)硅烷醇可以与各种金属烷基酰胺反应，作为气相沉积金属硅酸盐的前体。它也是二氧化硅沉积的理想前体。
三(叔丁氧基)硅烷醇与四(二甲基氨基)-铪蒸气（Hf(N(CH3)2)4）反应，用于硅酸铪玻璃膜的气相沉积。三(叔丁氧基)硅烷醇被用于无定形二氧化硅和氧化铝纳米层的高度共形层的原子层沉积。
Tris(tert-butoxy)silanol can react with various metal alkyl amides to act as precursors for vapor deposition metal silicates. It also acts as a suitable precursor for deposition of silica.
Tris(tert-alkoxy)silanols reacts with tetrakis(dimethylamino)-hafnium vapor(Hf(N(CH3)2)4) for vapor phase deposition of hafnium silicate glass films. Tris(tert-butoxy)silanol is used for atomic layer deposition of highly conformal layers of amorphous silicon dioxide and aluminum oxide nanolaminates.
规格
英文别名
Tris(tert-butoxy)silanol | Silicic acid (H4SiO4), tris(1,1-dimethylethyl) ester | hydroxy-tris[(2-methylpropan-2-yl)oxy]silane | tris(t-butoxy)silanol | Tri-t-butoxysilanol | Tri-tert-butylhydrogenorthosilicate | Tris(tert-butoxy)silanol, packaged for use in deposition systems | Tri-tert-butyl hydrogen orthosilicate
规格或纯度
用于沉积系统
英文名称
Tris(tert-butoxy)silanol(TBS)
储存条件
2-8°C储存,充氩,干燥
运输条件
低温运输
名称和识别符
EC号
801-265-2
分子类型
小分子
IUPAC Name
hydroxy-tris[(2-methylpropan-2-yl)oxy]silane
INCHI
1S/C12H28O4Si/c1-10(2,3)14-17(13,15-11(4,5)6)16-12(7,8)9/h13H,1-9H3
InChi Key
HLDBBQREZCVBMA-UHFFFAOYSA-N
Smiles
CC(C)(C)O[Si](O)(OC(C)(C)C)OC(C)(C)C
Isomeric SMILES
CC(C)(C)O[Si](O)(OC(C)(C)C)OC(C)(C)C
PubChem CID
分子量
264.43
高级数据
系统学分类
分类树（Taxonomy Tree）
| 界（kingdom) | 有机化合物 |
|---|---|
| 超类（Superclass) | 有机金属化合物 |
| 类（Class) | 有机准金属化合物 |
| 亚类（Subclass） | 有机硅化合物 |
| 中间层级节点（Intermediate Tree Nodes） | 暂无 |
| 直接上位类(Direct Parent) | 烷氧基硅烷 |
| 其他上位类（Alternative Parents） | 有机准金属盐 有机氧化合物 有机含氧阴离子化合物 碳氢化合物衍生物 |
| 分子骨架（Molecular Framework) | 脂肪族无环化合物 |
| 取代基（Substituents） | 脂肪族非环化合物 - 烷氧基硅烷 - 烃衍生物 - 有机类金属盐 - 有机氧化合物 - 有机盐 - 有机硅酸盐 - 有机氧化合物 |
| 描述（Description） | 该化合物属于烷氧基硅烷类有机化合物。这类有机硅化合物通式为RO[Si](OR')(R'')(R''')（R,R'=有机基团；R'',R'''=任意原子）。 |
| 外部描述符（External Descriptors） | 暂无 |
三维结构
交互式化学结构模型
化学和物理性质
敏感性
对湿度敏感
沸点
205-210 °C
熔点
63-65 °C
分子量
264.430 g/mol
XLogP3
氢键供体数Hydrogen Bond Donor Count
1
氢键受体数Hydrogen Bond Acceptor Count
4
可旋转键计数Rotatable Bond Count
6
精确质量Exact Mass
264.176 Da
单同位素质量Monoisotopic Mass
264.176 Da
拓扑极表面积Topological Polar Surface Area
47.900 Ų
重原子数Heavy Atom Count
17
形式电荷Formal Charge
0
复杂度Complexity
204.000
同位素原子数Isotope Atom Count
0
定义的原子立体中心计数Defined Atom Stereocenter Count
0
未定义的原子立体中心计数Undefined Atom Stereocenter Count
0
定义的键立体中心计数Defined Bond Stereocenter Count
0
未定义的键立体中心计数Undefined Bond Stereocenter Count
0
所有立体化学键的总数The total count of all stereochemical bonds
0
共价键合单元计数Covalently-Bonded Unit Count
1
安全和危险性（GHS）
象形图
信号词
警告
危险声明
H302: 吞食有害
H315: 引起皮肤刺激
H319: 引起严重眼睛刺激
H335: 可能引起呼吸道刺激
预防措施声明
P261: 避免吸入灰尘/烟雾/气体/雾/蒸汽/喷雾
P264: 处理后要彻底洗手。
P271: 仅在室外或通风良好的地方使用。
P280: 戴防护手套/穿防护服/戴防护眼罩/戴防护面具。
P321: 特殊处理（请参阅此标签上的...）。
P302+P352: 如皮肤沾染：用水充分清洗。
P304+P340: 如误吸入：将人转移到空气新鲜处，保持呼吸舒适体位。
P305+P351+P338: 如进入眼睛：用水小心冲洗几分钟。如戴隐形眼镜并可方便地取出，取出隐形眼镜。继续冲洗。
P362+P364: 脱掉沾污的衣服，清洗后方可重新使用。
P405: 密闭存放
P403+P233: 存放在通风良好的地方。保持容器密闭。
P501: 将内容物/容器送到批准的废物处理厂处理
P264+P265: 处理后彻底洗手[和…]。不要触摸眼睛。
P337+P317: 如果眼睛刺激持续：寻求医疗帮助。
P332+P317: 如果出现皮肤刺激：请寻求医疗帮助。
P319: 如果你感到不适，请寻求医疗帮助。
WGK Germany
3
个人防护装备
Eyeshields， Gloves， type N95 (US)， type P1 (EN143) respirator filter
质检证书(CoA,COO,BSE/TSE 和分析图谱)
技术文档和文章
此产品的引用文献
溶液计算器
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