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别名
钽二甲基胺|五(二甲基氨基)钽|五(二甲氨基)钽(V)
概述
氮化钽 (TaN) 薄膜的挥发性固体 CVD 前体。当在沉积过程中存在 O2、H2O、NO 或 H2O2 时,还会形成氧化钽 (Ta2O5) 薄膜。 Ta2O5 薄膜作为集成电路制造中的栅电介质材料具有广阔的应用前景。
规格
别名
钽二甲基胺 | 五(二甲基氨基)钽 | 五(二甲氨基)钽(V)
英文别名
PDMAT | TADMA | Ta(NMe2)5
规格或纯度
PrimorTrace™ Ultra, ≥99.9999% metals basis
英文名称
Pentakis (dimethylamino) tantalum(V)(PDMAT)
纯度
≥99.9999% metals basis
名称和识别符
IUPAC Name
dimethylazanide;tantalum(5+)
INCHI
1S/5C2H6N.Ta/c5*1-3-2;/h5*1-2H3;/q5*-1;+5
InChi Key
VSLPMIMVDUOYFW-UHFFFAOYSA-N
Smiles
C[N-]C.C[N-]C.C[N-]C.C[N-]C.C[N-]C.[Ta+5]
Isomeric SMILES
C[N-]C.C[N-]C.C[N-]C.C[N-]C.C[N-]C.[Ta+5]
高级数据
系统学分类
| 界(kingdom) |
有机化合物 |
| 超类(Superclass) |
有机盐 |
| 类(Class) |
有机金属盐 |
| 亚类(Subclass) |
有机过渡金属盐 |
| 中间层级节点(Intermediate Tree Nodes) |
暂无 |
| 直接上位类(Direct Parent) |
有机过渡金属盐 |
| 其他上位类(Alternative Parents) |
有机光子化合物 有机氮化合物 碳氢化合物衍生物 |
| 分子骨架(Molecular Framework) |
暂无 |
| 取代基(Substituents) |
脂肪族非环化合物 - 烃衍生物 - 有机硝基化合物 - 有机过氧化物 - 有机氮化合物 - 有机氮化合物 |
| 描述(Description) |
该化合物属于有机过渡金属盐类。这类有机盐化合物含有以离子形式存在的过渡金属原子。 |
| 外部描述符(External Descriptors) |
暂无 |
三维结构
化学和物理性质
氢键供体数Hydrogen Bond Donor Count
0
氢键受体数Hydrogen Bond Acceptor Count
5
可旋转键计数Rotatable Bond Count
0
精确质量Exact Mass
401.198 Da
单同位素质量Monoisotopic Mass
401.198 Da
拓扑极表面积Topological Polar Surface Area
5.000 Ų
同位素原子数Isotope Atom Count
0
定义的原子立体中心计数Defined Atom Stereocenter Count
0
未定义的原子立体中心计数Undefined Atom Stereocenter Count
0
定义的键立体中心计数Defined Bond Stereocenter Count
0
未定义的键立体中心计数Undefined Bond Stereocenter Count
0
所有立体化学键的总数The total count of all stereochemical bonds
0
共价键合单元计数Covalently-Bonded Unit Count
6
安全和危险性(GHS)
危险声明
H228: 易燃固体
H260: 遇水放出可自燃的易燃气体
H314: 造成严重皮肤灼伤和眼损伤
预防措施声明
P210: 远离热源,热表面,火花,明火和其他点火源。 - 禁止抽烟。
P223: 不允许与水接触
P240: 地面/粘结容器和接收设备
P241: 使用防爆的[电气/通风/照明/.../]设备。
P260: 不要吸入灰尘/烟雾/气体/雾/蒸汽/喷雾。
P264: 处理后要彻底洗手。
P280: 戴防护手套/穿防护服/戴防护眼罩/戴防护面具。
P231+P232: 在惰性气体中操作。防潮。
P321: 特殊处理(请参阅此标签上的...)。
P363: 再次使用之前,请清洗受污染的衣物。
P301+P330+P331: 如误吞咽:漱口。不要诱导呕吐。
P302+P335+P334: 刷掉皮肤上的松散颗粒。 浸入冷水中(或用湿绷带包扎)。
P304+P340: 如误吸入:将人转移到空气新鲜处,保持呼吸舒适体位。
P370+P378: 火灾时:使用干砂、干粉或抗醇泡沫灭火。
P405: 密闭存放
P402+P404: 存放于干燥处。存放于密闭的容器中。
P501: 将内容物/容器送到批准的废物处理厂处理
P305+P354+P338: 如果进入眼睛:立即用水冲洗几分钟。取下隐形眼镜(如果有的话),并且操作简单。继续冲洗。
P302+P361+P354: 如果接触皮肤:立即脱掉所有被污染的衣服。立即用水冲洗几分钟。
P316: 立即寻求紧急医疗救助。
质检证书(CoA,COO,BSE/TSE 和分析图谱)
技术文档和文章
溶液计算器
常见问题
金属基(trace metals basis)指标是什么含义?
本产品按金属基(trace metals basis)标定为 ≥99.9999%。该数值描述的是金属杂质含量,而非整体化学含量,因此适用于 ICP-MS、半导体及电池等对金属杂质敏感的应用。批次的具体数值以分析证书(COA)为准。
什么是「PrimorTrace? Ultra」?
「PrimorTrace? Ultra」表示该化学品经过纯化和检测,专用于痕量和元素分析。关键规格通常包括:常用检测波长处的受控紫外吸收、低不挥发残渣、受控的水分含量以及经验证的批间一致性。「PrimorTrace? Ultra」用于此工作流程中的流动相、样品制备和分析标准品。
本产品应如何储存?
请于2–8 °C、避光、氩气保护条件下保存。本品在氩气保护下供应,每次取用后请在惰性气体下重新密封。
本产品如何运输?
本产品采用湿冰冷藏运输。收货后请立即拆包,并按上述储存条件保存。
本产品的 CAS 号、分子式和分子量是多少?
本产品的 CAS 号为 19824-59-0,分子式为 C10H30N5Ta,分子量为 401.33 g/mol。InChIKey VSLPMIMVDUOYFW-UHFFFAOYSA-N。
如何获取批次专用COA?
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