页面 16 | 用于薄膜研究的CVD与ALD前驱体

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二羰基环戊二烯基钌二聚物
CAS: 12132-87-5 分子式: C₁₄H₁₀O₄Ru₂ 分子量: 444.37

≥99%

期货货号: D282688

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SMILES

[C-]#[O+].[C-]#[O+].[C-]#[O+].[C-]#[O+].[CH]1[CH][CH][CH][CH]1.[CH]1[CH][CH][CH][CH]1.[Ru].[Ru]

InChIKey

OYBGZXRXNFYOGP-UHFFFAOYSA-N

InChI

1S/2C5H5.4CO.2Ru/c2*1-2-4-5-3-1;4*1-2;;/h2*1-5H;;;;;;
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二羰基双（N，N-二叔丁基乙酰胺基）钌（II）
CAS: 949113-49-9 化合物 CID: 131698367 分子式: C₂₂H₄₂N₄O₂Ru 分子量: 495.67

≥98%,≥99.99% metals basis

期货货号: B282665

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IUPAC名称

tert-butyl-(N-tert-butyl-C-methylcarbonimidoyl)azanide;carbon monoxide;ruthenium(2+)

SMILES

CC(=NC(C)(C)C)[N-]C(C)(C)C.CC(=NC(C)(C)C)[N-]C(C)(C)C.[C-]#[O+].[C-]#[O+].[Ru+2]

InChI

1S/2C10H21N2.2CO.Ru/c2*1-8(11-9(2,3)4)12-10(5,6)7;2*1-2;/h2*1-7H3;;;/q2*-1;;;+2
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二甲基双（叔丁基环戊二烯基）锆
CAS: 68193-40-8 分子式: C₂₀H₃₂Zr 分子量: 363.70

≥98%

期货货号: D282602

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二甲基双（叔丁基环戊二烯基）铪（IV）
CAS: 68193-45-3 分子式: C₂0H₃₂Hf 分子量: 450.96

≥98%

期货货号: D283046

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二水合双（2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮基）镁
CAS: 625832-70-4 分子式: C₂₂H₃₈MgO₄ 分子量: 390.85 (426.88)

≥98% [Mg(TMHD2]

期货货号: B281768

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IUPAC名称

magnesium;2,2,6,6-tetramethyl-5-oxohept-3-en-3-olate;dihydrate

SMILES

CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C)(C)C)[O-].CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C)(C)C)[O-].O.O.[Mg+2]

InChI

1S/2C11H20O2.Mg.2H2O/c2*1-10(2,3)8(12)7-9(13)11(4,5)6;;;/h2*7,12H,1-6H3;;2*1H2/q;;+2;;/p-2
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二氯化双（异丙基环戊二烯基）铪
CAS: 66349-80-2 化合物 CID: 22325438 分子式: C₁₆H₂₂Cl₂Hf 分子量: 463.76

≥98%

有现货货号: B283047

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IUPAC名称

hafnium(4+);2-propan-2-ylcyclopenta-1,3-diene;dichloride

SMILES

CC(C)C1=[C-]CC=C1.CC(C)C1=[C-]CC=C1.[Cl-].[Cl-].[Hf+4]

InChIKey

JLBDCKZHXIMIPW-UHFFFAOYSA-L

InChI

1S/2C8H11.2ClH.Hf/c2*1-7(2)8-5-3-4-6-8;;;/h2*3,5,7H,4H2,1-2H3;2*1H;/q2*-1;;;+4/p-2
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二氯化双（五甲基环戊二烯基）铪
CAS: 85959-83-7 化合物 CID: 24942153 分子式: C₂₀H₃₀Cl₂Hf 分子量: 519.86

≥98%

期货货号: B283045

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IUPAC名称

hafnium(4+);1,2,3,5,5-pentamethylcyclopenta-1,3-diene;dichloride

SMILES

CC1=[C-]C(C(=C1C)C)(C)C.CC1=[C-]C(C(=C1C)C)(C)C.[Cl-].[Cl-].[Hf+4]

InChI

1S/2C10H15.2ClH.Hf/c2*1-7-6-10(4,5)9(3)8(7)2;;;/h2*1-5H3;2*1H;/q2*-1;;;+4/p-2
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二氯化双（乙基环戊二烯基）铪
CAS: 78205-93-3 化合物 CID: 17833083 分子式: C₁₄H₁₈Cl₂Hf 分子量: 435.69

≥98%

期货货号: B283044

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IUPAC名称

2-ethylcyclopenta-1,3-diene;hafnium(4+);dichloride

SMILES

CCC1=[C-]CC=C1.CCC1=[C-]CC=C1.[Cl-].[Cl-].[Hf+4]

InChI

1S/2C7H9.2ClH.Hf/c2*1-2-7-5-3-4-6-7;;;/h2*3,5H,2,4H2,1H3;2*1H;/q2*-1;;;+4/p-2
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二氧化钼（VI）双（2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酸酯）
CAS: 34872-98-5 化合物 CID: 102601110 分子式: C₂₂H₃₈MoO₆ 分子量: 494.48

≥98%

期货货号: M282651

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IUPAC名称

dioxomolybdenum;(Z)-5-hydroxy-2,2,6,6-tetramethylhept-4-en-3-one

SMILES

CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C)(C)C)O.CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C)(C)C)O.O=[Mo]=O

InChI

1S/2C11H20O2.Mo.2O/c2*1-10(2,3)8(12)7-9(13)11(4,5)6;;;/h2*7,12H,1-6H3;;;/b2*8-7-;;;
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乙醇锆 (IV) (Zr(OEt)4 )
CAS: 18267-08-8 EC号: 605-975-1 化合物 CID: 2733709 分子式: Zr(OC₂H₅)₄ 分子量: 271.47

≥99%

有现货货号: Z283415

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IUPAC名称

ethanol;zirconium

SMILES

CCO.CCO.CCO.CCO.[Zr]

InChIKey

UARGAUQGVANXCB-UHFFFAOYSA-N

InChI

1S/4C2H6O.Zr/c4*1-2-3;/h4*3H,2H2,1H3;
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乙醇铪
CAS: 13428-80-3 分子式: C₈H₂₀HfO₄ 分子量: 358.73

≥99%

有现货货号: H283049

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IUPAC名称

ethanolate;hafnium(4+)

SMILES

CC[O-].CC[O-].CC[O-].CC[O-].[Hf+4]

InChIKey

BFIMXCBKRLYJQO-UHFFFAOYSA-N

InChI

1S/4C2H5O.Hf/c4*1-2-3;/h4*2H2,1H3;/q4*-1;+4
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乙酰丙酮镱(III)
CAS: 14284-98-1 化合物 CID: 11178878 分子式: C₁₅H₂₁O₆Yb 分子量: 470.37

≥99.9% metals basis(REO)

有现货货号: Y283039

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IUPAC名称

(Z)-4-hydroxypent-3-en-2-one;ytterbium

SMILES

CC(=CC(=O)C)O.CC(=CC(=O)C)O.CC(=CC(=O)C)O.[Yb]

InChIKey

KHQNDTAJLAVGMH-LNTINUHCSA-N

InChI

1S/3C5H8O2.Yb/c3*1-4(6)3-5(2)7;/h3*3,6H,1-2H3;/b3*4-3-;