页面 14 | 用于薄膜研究的CVD与ALD前驱体

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六(乙基氨基)二硅烷
CAS: 532980-53-3 分子式: C₁₂H₃₆N₆Si₂ 分子量: 320.63

≥99.995% metals basis

期货货号: H281791

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IUPAC名称

N-[bis(ethylamino)-[tris(ethylamino)silyl]silyl]ethanamine

SMILES

CCN[Si](NCC)(NCC)[Si](NCC)(NCC)NCC

InChIKey

WMAAIGILTZEOHE-UHFFFAOYSA-N

InChI

1S/C12H36N6Si2/c1-7-13-19(14-8-2,15-9-3)20(16-10-4,17-11-5)18-12-6/h13-18H,7-12H2,1-6H3
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氧代氯化钨(VI)
CAS: 13520-78-0 EC号: 236-863-7 化合物 CID: 4080249 分子式: Cl₄OW 分子量: 341.65

≥97%

期货货号: T283070

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SMILES

ClW(Cl)(Cl)(Cl)=O

InChIKey

LQNAFXBTXJHEAX-UHFFFAOYSA-J

InChI

1S/4ClH.O.W/h4*1H;;/q;;;;;+4/p-4
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六氟乙酰丙酮锶
CAS: 121012-89-3 EC号: 681-166-7 化合物 CID: 2776535 分子式: C₁₀H₂F₁₂O₄Sr 分子量: 501.72

≥98%

期货货号: S282572

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IUPAC名称

strontium;1,1,1,5,5,5-hexafluoro-4-oxopent-2-en-2-olate

SMILES

C(=C(C(F)(F)F)[O-])C(=O)C(F)(F)F.C(=C(C(F)(F)F)[O-])C(=O)C(F)(F)F.[Sr+2]

InChIKey

KEVXBFHXVKDJRZ-UHFFFAOYSA-L

InChI

1S/2C5H2F6O2.Sr/c2*6-4(7,8)2(12)1-3(13)5(9,10)11;/h2*1,12H;/q;;+2/p-2
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六氟乙酰丙酮锡（II）
CAS: 112131-28-9 化合物 CID: 133109276 分子式: C₁₀H₂F₁₂O₄Sn 分子量: 532.81

≥99.9% metals basis

期货货号: T282970

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IUPAC名称

(Z)-1,1,1,5,5,5-hexafluoro-4-oxopent-2-en-2-olate;tin(2+)

SMILES

C(=C(C(F)(F)F)[O-])C(=O)C(F)(F)F.C(=C(C(F)(F)F)[O-])C(=O)C(F)(F)F.[Sn+2]

InChIKey

BCJZLQBNRGOBSY-PAMPIZDHSA-L

InChI

1S/2C5H2F6O2.Sn/c2*6-4(7,8)2(12)1-3(13)5(9,10)11;/h2*1,12H;/q;;+2/p-2/b2*2-1-;
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六氟乙酰丙酮铒水合物
CAS: 18923-92-7 化合物 CID: 72376405 分子式: C₁₅H₃ErF₁₈O₆ 分子量: 788.45

≥99.9% metals basis(REO)

期货货号: E283028

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IUPAC名称

erbium;(Z)-1,1,1,5,5,5-hexafluoro-4-hydroxypent-3-en-2-one;hydrate

SMILES

C(=C(C(F)(F)F)O)C(=O)C(F)(F)F.C(=C(C(F)(F)F)O)C(=O)C(F)(F)F.C(=C(C(F)(F)F)O)C(=O)C(F)(F)F.O.[Er]

InChI

1S/3C5H2F6O2.Er.H2O/c3*6-4(7,8)2(12)1-3(13)5(9,10)11;;/h3*1,12H;;1H2/b3*2-1-;;
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六氟乙酰丙酮铅（II）
CAS: 19648-88-5 化合物 CID: 252351223 分子式: C10H2F12O4Pb 分子量: 621.3

≥98%

期货货号: L283539

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六氟乙酰丙酮铂（II）
CAS: 65353-51-7 化合物 CID: 72376371 分子式: C₁₀H₂F₁₂O₄Pt 分子量: 609.22

≥99.9% metals basis

期货货号: P283174

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IUPAC名称

(Z)-1,1,1,5,5,5-hexafluoro-4-hydroxypent-3-en-2-one;platinum

SMILES

C(=C(C(F)(F)F)O)C(=O)C(F)(F)F.C(=C(C(F)(F)F)O)C(=O)C(F)(F)F.[Pt]

InChIKey

WPEADBNBKIDAEI-PAMPIZDHSA-N

InChI

1S/2C5H2F6O2.Pt/c2*6-4(7,8)2(12)1-3(13)5(9,10)11;/h2*1,12H;/b2*2-1-;
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六氟乙酰丙酮钙二水合物
CAS: 141572-90-9 化合物 CID: 5702827 分子式: C₁0H₂CaF₁₂O₄ 分子量: 454.18 (486.18)

≥97%

期货货号: C282349

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IUPAC名称

calcium;(Z)-1,1,1,5,5,5-hexafluoro-4-oxopent-2-en-2-olate;dihydrate

SMILES

C(=C(C(F)(F)F)[O-])C(=O)C(F)(F)F.C(=C(C(F)(F)F)[O-])C(=O)C(F)(F)F.O.O.[Ca+2]

InChI

1S/2C5H2F6O2.Ca.2H2O/c2*6-4(7,8)2(12)1-3(13)5(9,10)11;;;/h2*1,12H;;2*1H2/q;;+2;;/p-2/b2*2-1-;;;
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六氟乙酰丙酮镱(III)二水合物
CAS: 81849-60-7 EC号: 815-366-4 分子式: C₁₅H₃F₁₈O₆Yb·2H₂O 分子量: 830.22

≥99.9% metals basis

有现货货号: Y283040

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IUPAC名称

1,1,1,5,5,5-hexafluoro-4-hydroxypent-3-en-2-one;ytterbium;dihydrate

SMILES

C(=C(C(F)(F)F)O)C(=O)C(F)(F)F.C(=C(C(F)(F)F)O)C(=O)C(F)(F)F.O.O.[Yb]

InChIKey

MHHPBTBQHUHFDW-UHFFFAOYSA-N

InChI

1S/2C5H2F6O2.2H2O.Yb/c2*6-4(7,8)2(12)1-3(13)5(9,10)11;;;/h2*1,12H;2*1H2;
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五(二甲氨基)钽(V)(PDMAT)
CAS: 19824-59-0 EC号: 624-567-4 化合物 CID: 140614 分子式: Ta(N(CH₃)₂)₅ 分子量: 401.33

PrimorTrace™ ? ≥99.99% metals basis

有现货货号: P283060

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IUPAC名称

dimethylazanide;tantalum(5+)

SMILES

C[N-]C.C[N-]C.C[N-]C.C[N-]C.C[N-]C.[Ta+5]

InChIKey

VSLPMIMVDUOYFW-UHFFFAOYSA-N

InChI

1S/5C2H6N.Ta/c5*1-3-2;/h5*1-2H3;/q5*-1;+5
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五甲基环戊二烯基铼三羰基
CAS: 12130-88-0 EC号: 814-467-0 化合物 CID: 10905561 分子式: C₁₃H₁₅O₃Re 分子量: 405.46

≥98%

期货货号: P283078

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SMILES

CC1=C([C](C(=C1C)C)C)C.[C-]#[O+].[C-]#[O+].[C-]#[O+].[Re]

InChIKey

RMZUPTPNMRTTKD-UHFFFAOYSA-N

InChI

1S/C10H15.3CO.Re/c1-6-7(2)9(4)10(5)8(6)3;3*1-2;/h1-5H3;;;;
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五甲基环戊二烯基三（二甲基氨基）钛（IV）
CAS: 154940-96-2 分子式: C₁₆H₃₃N₃Ti 分子量: 315.32

≥99%

期货货号: P282375

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