CVD和ALD前驱体

用于薄膜沉积和半导体研究的CVD及ALD前驱体。浏览金属有机和无机前驱体,这些产品附有关键标识符和操作指南,以支持沉积工艺开发。

阿拉丁试剂(上海阿拉丁生化科技股份有限公司,上交所科创板 688179)提供 34万+ 种化学与生化试剂,仅供专业研发使用。

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  1. 双(6,6,7,7,8,8,8,8-七氟-2,2-二甲基-3,5-辛二酸钙)钙[Ca(FOD)2]
    CAS: 124053-49-2 化合物 CID: 138395370 分子式: C20H20CaF14O4 分子量: 630.3
    期货 货号: B282352
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    IUPAC名称
    calcium;(Z)-6,6,7,7,8,8,8-heptafluoro-2,2-dimethyl-5-oxooct-3-en-3-olate;(E)-6,6,7,7,8,8,8-heptafluoro-2,2-dimethyl-5-oxooct-3-en-3-olate
    SMILES
    CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)[O-].CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)[O-].[Ca+2]
    InChI
    1S/2C10H11F7O2.Ca/c2*1-7(2,3)5(18)4-6(19)8(11,12)9(13,14)10(15,16)17;/h2*4,18H,1-3H3;/q;;+2/p-2/b5-4+;5-4-;
  2. 双(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮基)锶四甘醇二甲酸酯加合物
    CAS: 150939-76-7 化合物 CID: 90470193 分子式: C₂₂H₃₈O₄Sr 分子量: 454.16 (676.44)
    PrimorTrace™ ? PrimorTrace™ —— 阿拉丁的痕量金属分析系列,金属背景极低。适用于污染须极小的 ICP/AAS 痕量金属工作。 ≥99.99% metals basis
    期货 货号: B282570
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    技术标识符
    IUPAC名称
    strontium;1-methoxy-2-[2-[2-(2-methoxyethoxy)ethoxy]ethoxy]ethane;(E)-2,2,6,6-tetramethyl-5-oxohept-3-en-3-olate
    SMILES
    CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C)(C)C)[O-].CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C)(C)C)[O-].COCCOCCOCCOCCOC.[Sr+2]
    InChIKey
    HSFNENSNZGKQFG-COYDWXKQSA-L
    InChI
    1S/2C11H20O2.C10H22O5.Sr/c2*1-10(2,3)8(12)7-9(13)11(4,5)6;1-11-3-5-13-7-9-15-10-8-14-6-4-12-2;/h2*7,12H,1-6H3;3-10H2,1-2H3;/q;;;+2/p-2/b2*8-7+;;
  3. 双(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮基)钡四甘醇二甲酸酯加合物
    CAS: 136629-60-2 化合物 CID: 90469860 分子式: C₂₂H₃₈BaO₄ 分子量: 503.85 (726.13)
    期货 货号: B282987
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    技术标识符
    IUPAC名称
    barium(2+);1-methoxy-2-[2-[2-(2-methoxyethoxy)ethoxy]ethoxy]ethane;(E)-2,2,6,6-tetramethyl-5-oxohept-3-en-3-olate
    SMILES
    CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C)(C)C)[O-].CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C)(C)C)[O-].COCCOCCOCCOCCOC.[Ba+2]
    InChIKey
    YEVXHUMCDSFLLP-COYDWXKQSA-L
    InChI
    1S/2C11H20O2.C10H22O5.Ba/c2*1-10(2,3)8(12)7-9(13)11(4,5)6;1-11-3-5-13-7-9-15-10-8-14-6-4-12-2;/h2*7,12H,1-6H3;3-10H2,1-2H3;/q;;;+2/p-2/b2*8-7+;;
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