CVD和ALD前驱体

用于薄膜沉积和半导体研究的CVD及ALD前驱体。浏览金属有机和无机前驱体,这些产品附有关键标识符和操作指南,以支持沉积工艺开发。

阿拉丁试剂(上海阿拉丁生化科技股份有限公司,上交所科创板 688179)提供 34万+ 种化学与生化试剂,仅供专业研发使用。

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  1. 双(N,N'-二异丙基乙酰胺基)钴(II)
    CAS: 635680-58-9 分子式: C16H34CoN4 分子量: 341.40
    PrimorTrace™ ? PrimorTrace™ —— 阿拉丁的痕量金属分析系列,金属背景极低。适用于污染须极小的 ICP/AAS 痕量金属工作。 ≥99.99% metals basis
    有现货 货号: B282479
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    技术标识符
    IUPAC名称
    cobalt(2+);(C-methyl-N-propan-2-ylcarbonimidoyl)-propan-2-ylazanide
    SMILES
    CC(C)[N-]C(=NC(C)C)C.CC(C)[N-]C(=NC(C)C)C.[Co+2]
    InChIKey
    GGJSAIZRJFXGKE-UHFFFAOYSA-N
    InChI
    1S/2C8H17N2.Co/c2*1-6(2)9-8(5)10-7(3)4;/h2*6-7H,1-5H3;/q2*-1;+2
  2. 双(N,N''-二叔丁基乙酰胺基)镍(II)
    CAS: 940895-79-4 分子式: C20H42N4Ni 分子量: 397.27
    PrimorTrace™ ? PrimorTrace™ —— 阿拉丁的痕量金属分析系列,金属背景极低。适用于污染须极小的 ICP/AAS 痕量金属工作。 ≥99.999% metals basis
    期货 货号: B282496
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    技术标识符
    IUPAC名称
    tert-butyl-(N-tert-butyl-C-methylcarbonimidoyl)azanide;nickel(2+)
    SMILES
    CC(=NC(C)(C)C)[N-]C(C)(C)C.CC(=NC(C)(C)C)[N-]C(C)(C)C.[Ni+2]
    InChI
    1S/2C10H21N2.Ni/c2*1-8(11-9(2,3)4)12-10(5,6)7;/h2*1-7H3;/q2*-1;+2
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