CVD和ALD前驱体

用于薄膜沉积和半导体研究的CVD及ALD前驱体。浏览金属有机和无机前驱体,这些产品附有关键标识符和操作指南,以支持沉积工艺开发。

阿拉丁试剂(上海阿拉丁生化科技股份有限公司,上交所科创板 688179)提供 34万+ 种化学与生化试剂,仅供专业研发使用。

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  1. 三(N,N'-二-异丙基甲脒)镧(III)
    CAS: 1034537-36-4 EC号: 188-176-6 化合物 CID: 155884971 分子式: C21H45LaN6 分子量: 520.53
    PrimorTrace™ ? PrimorTrace™ —— 阿拉丁的痕量金属分析系列,金属背景极低。适用于污染须极小的 ICP/AAS 痕量金属工作。 ≥99.999% metals basis
    有现货 货号: T282993
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    技术标识符
    IUPAC名称
    lanthanum(3+);propan-2-yl(propan-2-yliminomethyl)azanide
    SMILES
    CC(C)[N-]C=NC(C)C.CC(C)[N-]C=NC(C)C.CC(C)[N-]C=NC(C)C.[La+3]
    InChIKey
    NOIHKHLSQPSBHG-UHFFFAOYSA-N
    InChI
    1S/3C7H15N2.La/c3*1-6(2)8-5-9-7(3)4;/h3*5-7H,1-4H3;/q3*-1;+3
  2. 三(6,6,7,7,7,8,8,8,8-七氟-2,2-二甲基-3,5-辛二酸酯)镧(III)
    CAS: 19106-89-9 化合物 CID: 15259245 分子式: C30H30F21LaO6 分子量: 1024.44
    期货 货号: T282996
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    技术标识符
    IUPAC名称
    (Z)-6,6,7,7,8,8,8-heptafluoro-2,2-dimethyl-5-oxooct-3-en-3-olate;lanthanum(3+)
    SMILES
    CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)[O-].CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)[O-].CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)[O-].[La+3]
    InChI
    1S/3C10H11F7O2.La/c3*1-7(2,3)5(18)4-6(19)8(11,12)9(13,14)10(15,16)17;/h3*4,18H,1-3H3;/q;;;+3/p-3/b3*5-4-;
  3. 三(6,6,7,7,8,8,8-七氟-2,2-二甲基-3,5-辛二酸)铈(III)
    CAS: 172424-98-5 分子式: C30H30CeF21O6 分子量: 1025.64
    有现货 货号: T283003
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    技术标识符
    IUPAC名称
    cerium;(E)-6,6,7,7,8,8,8-heptafluoro-5-hydroxy-2,2-dimethyloct-4-en-3-one
    SMILES
    CC(C)(C)C(=O)C=C(C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)O.CC(C)(C)C(=O)C=C(C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)O.CC(C)(C)C(=O)C=C(C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)O.[Ce]
    InChIKey
    BJZPJODLZIVPTN-VSBSIAEVSA-N
    InChI
    1S/3C10H11F7O2.Ce/c3*1-7(2,3)5(18)4-6(19)8(11,12)9(13,14)10(15,16)17;/h3*4,19H,1-3H3;/b3*6-4+;
  4. 三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)铋(III)
    CAS: 142617-53-6 EC号: 621-961-8 化合物 CID: 16704984 分子式: C33H57BiO6 分子量: 758.74
    期货 货号: T283248
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    技术标识符
    IUPAC名称
    (E)-5-bis[[(E)-2,2,6,6-tetramethyl-5-oxohept-3-en-3-yl]oxy]bismuthanyloxy-2,2,6,6-tetramethylhept-4-en-3-one
    SMILES
    CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C)(C)C)O[Bi](OC(=CC(=O)C(C)(C)C)C(C)(C)C)OC(=CC(=O)C(C)(C)C)C(C)(C)C
    InChIKey
    ZNHBPQSSVCRFST-QFVJJVGWSA-K
    InChI
    1S/3C11H20O2.Bi/c3*1-10(2,3)8(12)7-9(13)11(4,5)6;/h3*7,12H,1-6H3;/q;;;+3/p-3/b3*8-7+;
  5. 三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮基)镧(III)四甘醇酸酯加合物
    CAS: 151139-14-9 分子式: C₃₃H₅₇LaO₆ 分子量: 910.99
    有现货 货号: T282992
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    技术标识符
    IUPAC名称
    (E)-5-hydroxy-2,2,6,6-tetramethylhept-4-en-3-one;lanthanum;1-methoxy-2-[2-[2-(2-methoxyethoxy)ethoxy]ethoxy]ethane
    SMILES
    CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C)(C)C)O.CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C)(C)C)O.CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C)(C)C)O.COCCOCCOCCOCCOC.[La]
    InChIKey
    XIKKVCDTOLQBDH-YCLPLZAJSA-N
    InChI
    1S/3C11H20O2.C10H22O5.La/c3*1-10(2,3)8(12)7-9(13)11(4,5)6;1-11-3-5-13-7-9-15-10-8-14-6-4-12-2;/h3*7,12H,1-6H3;3-10H2,1-2H3;/b3*8-7+;;
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