CVD和ALD前驱体

用于薄膜沉积和半导体研究的CVD及ALD前驱体。浏览金属有机和无机前驱体,这些产品附有关键标识符和操作指南,以支持沉积工艺开发。

阿拉丁试剂(上海阿拉丁生化科技股份有限公司,上交所科创板 688179)提供 34万+ 种化学与生化试剂,仅供专业研发使用。

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  1. 三叔戊氧基硅烷醇
    CAS: 17906-35-3 EC号: 627-476-8 化合物 CID: 3702849 分子式: C15H34O4Si 分子量: 306.51
    PrimorTrace™ ? PrimorTrace™ —— 阿拉丁的痕量金属分析系列,金属背景极低。适用于污染须极小的 ICP/AAS 痕量金属工作。 ≥99.999% metals basis
    有现货 货号: T281796
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    技术标识符
    IUPAC名称
    hydroxy-tris(2-methylbutan-2-yloxy)silane
    SMILES
    CCC(C)(C)O[Si](O)(OC(C)(C)CC)OC(C)(C)CC
    InChIKey
    ORJFXWYTRPGGRK-UHFFFAOYSA-N
    InChI
    1S/C15H34O4Si/c1-10-13(4,5)17-20(16,18-14(6,7)11-2)19-15(8,9)12-3/h16H,10-12H2,1-9H3
  2. 三乙基膦(6,6,7,7,8,8,8-七氟-2,2-二甲基-3,5-辛二酮)银(I)
    CAS: 165461-74-5 EC号: 803-367-2 化合物 CID: 136862902 分子式: C16H25AgF7O2P 分子量: 521.2
    有现货 货号: T282954
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    技术标识符
    IUPAC名称
    (Z)-6,6,7,7,8,8,8-heptafluoro-5-hydroxy-2,2-dimethyloct-4-en-3-one;silver;triethylphosphane
    SMILES
    CCP(CC)CC.CC(C)(C)C(=O)C=C(C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)O.[Ag]
    InChIKey
    SKYWZMHJSXPSEI-XFUGJFOESA-N
    InChI
    1S/C10H11F7O2.C6H15P.Ag/c1-7(2,3)5(18)4-6(19)8(11,12)9(13,14)10(15,16)17;1-4-7(5-2)6-3;/h4,19H,1-3H3;4-6H2,1-3H3;/b6-4-;;
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