用于薄膜沉积和半导体研究的CVD及ALD前驱体。浏览金属有机和无机前驱体，这些产品附有关键标识符和操作指南，以支持沉积工艺开发。
CVD和ALD前驱体
产品列表
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三（2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮基）镥（III）期货 货号: T283042查看产品价格与包装技术标识符
- IUPAC名称
- lutetium(3+);2,2,6,6-tetramethylheptane-3,5-dione
- SMILES
- CC(C)(C)C(=O)[CH-]C(=O)C(C)(C)C.CC(C)(C)C(=O)[CH-]C(=O)C(C)(C)C.CC(C)(C)C(=O)[CH-]C(=O)C(C)(C)C.[Lu+3]
- InChIKey
- YVLFRFWUVAFZKG-UHFFFAOYSA-N
- InChI
- 1S/3C11H19O2.Lu/c3*1-10(2,3)8(12)7-9(13)11(4,5)6;/h3*7H,1-6H3;/q3*-1;+3
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三（2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮基）铟（III）有现货 货号: T282959查看产品价格与包装技术标识符
- IUPAC名称
- (Z)-5-bis[[(Z)-2,2,6,6-tetramethyl-5-oxohept-3-en-3-yl]oxy]indiganyloxy-2,2,6,6-tetramethylhept-4-en-3-one
- SMILES
- CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C)(C)C)O[In](OC(=CC(=O)C(C)(C)C)C(C)(C)C)OC(=CC(=O)C(C)(C)C)C(C)(C)C
- InChIKey
- YVKGYGRXJLEUTO-LWTKGLMZSA-K
- InChI
- 1S/3C11H20O2.In/c3*1-10(2,3)8(12)7-9(13)11(4,5)6;/h3*7,12H,1-6H3;/q;;;+3/p-3/b3*8-7-;
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(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)钪(III)有现货 货号: T282354查看产品价格与包装技术标识符
- IUPAC名称
- (Z)-5-hydroxy-2,2,6,6-tetramethylhept-4-en-3-one;scandium
- SMILES
- CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C)(C)C)O.CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C)(C)C)O.CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C)(C)C)O.[Sc]
- InChIKey
- DTXBDJFPVKQCCF-LWTKGLMZSA-N
- InChI
- 1S/3C11H20O2.Sc/c3*1-10(2,3)8(12)7-9(13)11(4,5)6;/h3*7,12H,1-6H3;/b3*8-7-;
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三（2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮基）钛（III）期货 货号: T282374查看产品价格与包装技术标识符
- IUPAC名称
- (Z)-5-hydroxy-2,2,6,6-tetramethylhept-4-en-3-one;titanium
- SMILES
- CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C)(C)C)O.CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C)(C)C)O.CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C)(C)C)O.[Ti]
- InChIKey
- GDCBFXOQZJSCHZ-LWTKGLMZSA-N
- InChI
- 1S/3C11H20O2.Ti/c3*1-10(2,3)8(12)7-9(13)11(4,5)6;/h3*7,12H,1-6H3;/b3*8-7-;
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三（2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮基）钌（III）PrimorTrace™ ? PrimorTrace™ —— 阿拉丁的痕量金属分析系列，金属背景极低。适用于污染须极小的 ICP/AAS 痕量金属工作。 ≥99.99% metals basis有现货 货号: T282796查看产品价格与包装技术标识符
- IUPAC名称
- ruthenium(3+);(Z)-2,2,6,6-tetramethyl-5-oxohept-3-en-3-olate
- SMILES
- CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C)(C)C)[O-].CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C)(C)C)[O-].CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C)(C)C)[O-].[Ru+3]
- InChIKey
- FKJOFKNVRUZKNK-LWTKGLMZSA-K
- InChI
- 1S/3C11H20O2.Ru/c3*1-10(2,3)8(12)7-9(13)11(4,5)6;/h3*7,12H,1-6H3;/q;;;+3/p-3/b3*8-7-;
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三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)铥(III)有现货 货号: T283035查看产品价格与包装技术标识符
- IUPAC名称
- (Z)-5-hydroxy-2,2,6,6-tetramethylhept-4-en-3-one;thulium
- SMILES
- CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C)(C)C)O.CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C)(C)C)O.CC(C)(C)C(=CC(=O)C(C)(C)C)O.[Tm]
- InChIKey
- WBHFLBDKCXLASC-LWTKGLMZSA-N
- InChI
- 1S/3C11H20O2.Tm/c3*1-10(2,3)8(12)7-9(13)11(4,5)6;/h3*7,12H,1-6H3;/b3*8-7-;
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三甲基镓电子级 ? 电子级 —— 金属和颗粒杂质极低，供微电子使用。适用于不耐受污染的半导体和电子工艺。 PrimorTrace™ Ultra ? PrimorTrace™ Ultra —— PrimorTrace 痕量金属系列的最高纯度等级。适用于最严苛的超痕量金属测定。 ≥99.9999% metals basis期货 货号: T283549查看产品价格与包装技术标识符
- IUPAC名称
- trimethylgallane
- SMILES
- C[Ga](C)C
- InChIKey
- XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N
- InChI
- 1S/3CH3.Ga/h3*1H3;
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三甲基环戊二烯铂（IV）期货 货号: T283158查看产品价格与包装技术标识符
- IUPAC名称
- carbanide;cyclopenta-1,3-diene;platinum(4+)
- SMILES
- [CH3-].[CH3-].[CH3-].[CH-]1C=CC=C1.[Pt+4]
- InChI
- 1S/C5H5.3CH3.Pt/c1-2-4-5-3-1;;;;/h1-5H;3*1H3;/q4*-1;+4
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